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SpecEl 橢偏儀
SpecEl橢偏儀通過測量基底反射的偏振光，進而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實現折射率，吸光率及膜厚的測量。
技術參數
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波長范圍: |
380-780 nm (標準) 或450-900 nm (可選) |
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光學分辨率 |
4.0 nm FWHM |
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測量精度 |
厚度0.1 nm ; 折射率 0.005% |
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入射角 |
70° |
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膜厚 |
單透明膜1-5000 nm |
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光點尺寸 |
2 mm x 4 mm (標準) 或 200 μm x 400 μm (可選) |
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采樣時間 |
3-15s (小) |
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動態記錄 |
3 seconds |
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膜層數 |
至多32層 |
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參考 |
不需要 |
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